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分子增压泵的结构组成和性能特点

发布时间:2015年09月11日 09:38   阅读:3478   返回   来源:泽德
  传统牵引分子泵的结构简单、工作压强高、排气流量大,然而,在分子流状态下抽速仅为涡轮分子泵的5%,加上动轮和静轮之间的工作间隙小,一般在0.1 mm以下,制造困难,粉尘以及热胀都会影响泵的正常运行。分子增压泵作为新一代产品化的真空泵,该泵是一种兼有中、高真空泵的双重性能、能耗低、能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛。
  1.分子增压泵的结构
  分子增压泵由泵壳、转子、端盖、轴承、2个静轮、动密封轮、3个柱面静轮等组成。采用双重分子牵引结构,转子由平圆盘和柱面构成,无任和尼斯正规官网镀
  2.分子增压泵的性能
  (1)能承受大气冲击。涡轮分子泵高速运行时,若受到大气冲击,往往造成叶片严重损坏(俗称剃光头)。分子增压泵不仅取消转子的全部叶片,简化动轮结构,提高运行的可靠性。而且,平盘动轮的内侧设有大截面的连通气孔,因此,发生大气冲击时,平盘动轮、2个静轮、动密封轮的两侧均不会产生大的压强差,从而,不会产生轴向形变,消除了动轮与静止部件之间相擦的可能性。此外,转子两侧柱面动轮刚度大,加上完全对称,抵消了大气的冲击力,因此,受大气冲击时,泵转子不会造成损坏。
  (2)工作压强高、排气流量大。分子/增压泵的工作机理属于牵引分子泵,因此,具有牵引分子泵工作压强高、排气流量大等优点。
  (3)获得清洁真空。分子增压泵的抽气通道在径向和轴向多次折返,完全不透光,因此,前级油蒸汽返回高真空室的几率大幅度低于涡轮分子泵。此外,分子增压泵可以在大气压下短时间运行,因此,泵的电源切断后,真空室可以直接注入保护气体,有效地挡住前级油蒸汽对高真空室的污染。
  (4)节能。在分子流状态,分子/增压泵的能耗与涡轮分子泵大体相同。但前级泵只有涡轮分子泵的1/4~1/2,加上可采用“冲洗抽气工艺”,抽气时间仅为涡轮分子机组的一半,因此,分子/增压泵机组的总能耗仅为涡轮分子泵机组的25%,即节能75%。
  (5)转速低,轴承寿命长。分子/增压泵采用独特的结构,泵的抽速提高至传统牵引分子泵的30倍,高于相同转速的涡轮分子泵的抽速。
  (6)能制造大型泵。分子/增压泵结构简单,易于制造抽速较大的大型泵。

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