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开式液氮冷凝泵的工作流程和压力分析

发布时间:2015年09月10日 10:22   阅读:4008   返回   来源:泽德
  低温冷凝泵由外壳、进气口、冷凝板(背部带翅片)、液氮储槽、液氮加注管、氮气排出管、支撑结构等组成。因冷凝泵抽速大、负荷适应性好、能提供洁净真空以及凝面可做成韧尼斯正规官网庑巫床贾糜诒怀榭占淠诘扔诺愠晌壤胱犹逡身系统中,从离子源到喷嘴过渡端开式空间高真空维持的真空获得设备的最佳选择。
  低温冷凝泵的工作过程主要由冷凝板预冷和水蒸气的进气过程组成。其工作流程:
  (1)开启辅助真空泵抽除泵内的N2等不易低冷凝的气体。
        (2)人工加注液氮,将冷凝板降温至其温度相对稳定,并且使泵出口维持一个较高的真空度(10-4量级)。
  (3)通过进气口向冷凝泵内进气,在进气过程中仍然保持一个合适的液氮加注速度。
  冷凝泵压力分析
  水蒸气从进气口到高真空出口,冷凝泵内气体的流动状态从黏滞流逐渐跨度到分子流,压力经小孔急剧下降,轴向压力梯度很大。 压降的原因主要是因为:
  (1)流动过程中的小孔入口处和管内壁面阻力导致的能量损失。
        (2)运动过程中流速增加,导致静压力下降。 对于低速入流的流体,入口的局部损失大致相同,当节流孔的长度不同时长度越长,沿程压力损失越大,表现为更大的轴向压力梯度。
  冷凝泵中的气体流量与冷凝热负荷成正比。气体流量与入口压力和横截面积有关,在入口压力一定的情况下,入口截面积越小,热负荷越低,对冷凝泵的热真空性能越有利。
 

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